簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "楊振雄".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="數位微影"


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    基於卷積神經網路規劃數位微影曝光能量
    • 自動化及控制研究所 /107/ 碩士
    • 研究生： 李健揚   指導教授： 郭鴻飛
    • 以光點陣列掃描 (Point Array Scanning) 成像的數位微影系統，使用數位微反射鏡裝置(Digital Micromirror Device, DMD)作為產生光點陣列的元件，透過控…
    • 點閱：268  下載：2 

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    探討數位微影系統中之影像畸變與補償
    • 自動化及控制研究所 /111/ 碩士
    • 研究生： 黎人維   指導教授： 郭鴻飛
    • 在數位微影製程中，像差對半導體和微機電系統製造品質的影響至關重要， 因此，有效地校正由數位微影系統產生的畸變是提升製程良率的重大研究議題。 在本篇研究中，我們深入探討數位微影系統的畸變補償問題，並提…
    • 點閱：385  下載：0 
    • 全文公開日期 2025/08/07 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/08/07 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/08/07 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    深度數位微影曝光之能量規劃程序設計
    • 自動化及控制研究所 /112/ 碩士
    • 研究生： 謝曉涵   指導教授： 郭鴻飛
    • 微影製程是不斷發展的半導體產業中非常重要技術之一，這項技術利用光學投影將線路結構曝光於晶圓上，製造出微米甚至是奈米等級尺寸之電路。相對於傳統的微影製程，數位微影製程不再需要使用光罩，而是透過各種光學…
    • 點閱：61  下載：0 
    • 全文公開日期 2026/02/05 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/02/05 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/02/05 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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